硅碳CVD、乙炔包覆回转炉
专业用于硅碳负极CVD气相沉积工艺。。。。。。
选件:
产品特点
1、烧结周期短:动态烧结方法,,,,,,,热传导速率快,,,,,,,大大缩短烧结周期,,,,,,,相对能耗优于其他炉型;;;;;;;;
2、物料品质匀称:物料在炉内的运动状态为动态的前进和翻转,,,,,,,受热匀称,,,,,,,确保了物料充分烧结,,,,,,,物料品质一致性好;;;;;;;;
3、单机产能可扩产:较大单机产能,,,,,,,且易于实现规模放大,,,,,,,单台装备产能可达5-200kg/批,,,,,,,且有实现一连化生产的可能;;;;;;;;
4、清静系数高:炉内微正压,,,,,,,排气结构简朴,,,,,,,可有用泄压,,,,,,,清静性能相对较高。。。。。。
产品详情
| 额定温度 | 控温精度 | 烧结气氛 | 生产方法 | 单次处置惩罚量 |
| 600℃ | ±1℃ | 氮气,硅烷,乙炔 | 间歇式、一连式 | 5-200kg/批 |
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